توضیحی مختصر از مقاله  :

مقدمه اي بر تكنولوژي سيستم هاي ميكرو الكترومكانيكي(MEMS)

 MEMS يك تكنولوژي است،كه قادر به ساخت دسته اي از ساختارها ،ديوايس ها وسيستم هاي مكانيكي كوچك شده است.اين تكنولوژي داراي تعدادي مزيت ها نسبت به تكنولوژي IC ها دارد

1- كاهش هزينه در ساخت

2- ثبات ديوايس به ديوايس از تكنولوژي ليتوگرافي واچينگ

3- پيشرفت نقش كلي آن ها در مقياس پايين كه به كاهش وزن واندازه منجر مي شود

سيليسيوم يك ماده مناسب براي ساخت ديوايس هاي MEMS  است.زيرا اين ماده داراي خواص فيزيكي و مكانيكي خوب براي ماشين كاري دارد.همچنين Si ارزان قيمت و به وفور در معادن يافت مي شود.در سال 1992 خواص مكانيكي MEMS  توسطPetersen انجام شده است.مشخصات مفيد اين ديوايس ها باعث شده است،كه MEMS يك تكنولوژي پيروز در تعدادي حوزه هاي كاربردي شامل شتاب سنج ها، سنسور هاي فشار،ميكرو اپتيك و غيره باشد.‌‍‍‍[1]

RF MEMS  نسبتا جديد است،اما يك هيجان زياد به خاطر افزايش نقش وكاهش هزينه ساخت ايجاد كرده است.تجارت مدرن وبه طور ويژه ارتباطات نظامي،كشتيراني وخطوط اطلاعات براي اين كاربرد ها طراحي شده اند.براي سيستم هاي ارتباطي ،در كاربرد هاي تجاري ونظامي ،يك حركت پيوسته براي كوچك تر شدن وجود دارد.تجهيزات ضد پارازيت يك درجه بالايي از چابكي فركانس نياز دارد،كه تاثير سيگنال هاي پارازيت ،روي ارتباطات را كمتر كنيم.براي انجام دادن اين نياز، به فيلترينگ باند باريك روي گيرنده يا فرستنده ويا هر دو نياز داريم.فيلترهاي فركانس بالا براي تجهيزات ضد پارازيت ، تمايل به پهناي باند عريض تر دارد.[2]بيشترين مطالعات درRF MEMS  روي سوئيچ ها انجام شده است.اگر ما بخواهيم يك تعريف از عمل سوئيچينگ داشته باشيم،به صورت زير خواهد بود

سوئيچ ها

سوئيچ وسيله اي است،كه عمل برقراي جريان يا عدم برقراري جريان در يك مدار را انجام مي دهد.يك سوئيچ مي تواند در مسير سيگنال يك مقاومت يا يك خازن باشد،كه به خاطر عمل مكانيكي اش، سوئيچ نيمه عمر محدود دارد. حال مثال هايي از سوئيچ هايي كه مورد استفاده قرار مي گيرند را درزير بيان مي كنيم.سوئيچ ها مي توانند،در يك مدار گيرنده- فرستنده استفاده شوند.همان طور ،كه در شكل 1 مشاهده مي كنيم،در مد فرستنده سوئيچ بايد در موقيت 1 ودر مد گيرنده بايد در موقيت 2 باشد[3]

فهرست

مقدمه ای بر تكنولوژی سیستم های میكرو الكترومكانیكی(MEMS)

سوئیچ ها

پارامتر های سوئیچینگ

زمان عبور

سرعت سوئیچینگ

اداره توان RF

Impedance matching 

Insertion loss

Impedance matching.

Actuation voltage

Life-cycle

Resonant frequency

سوئیچ های مكانیكی

سوئیچ های RF  دیودPIN

سوئیچ های ترانزیستور های اثر میدان نیمرسانا اكسید فلزی

سوئیچ های RF MEMS 

مقایسه بین سوئیچ های RF MEMS  و سوئیچهای RF متداول

سوئیچ های اتصال سری الكتروستاتیكی

سوئیچ های ظرفیتی موازی

تحریک الکتروستاتیکی

مراحل ساخت سوئیچ

نتیجه گیری